0190-26769 एएमएटी यूनिवर्सल ट्रिपल गेज

विवरण:

एएमएटी 0190-26769 एक उच्च-परिशुद्धता वाला वैक्यूम गेज है, जिसे विशेष रूप से एप्लाइड मैटेरियल्स (एएमएटी) सेमीकंडक्टर प्रोसेसिंग उपकरण में उपयोग के लिए निर्मित किया गया है। सेमीकंडक्टर उद्योग में, विभिन्न निर्माण चरणों, जैसे कि जमाव, नक़्क़ाशी और आयन आरोपण, के लिए सटीक वैक्यूम नियंत्रण अत्यंत महत्वपूर्ण है। 

यह विशिष्ट पार्ट नंबर दर्शाता है कि यह एएमएटी के जटिल प्रक्रिया कक्षों के भीतर निर्वात वातावरण को बनाए रखने और निगरानी करने के लिए एक अभिन्न अंग है। हालाँकि सटीक तकनीक (जैसे, पिरानी, ​​कोल्ड कैथोड, कैपेसिटेंस डायाफ्राम गेज) केवल पार्ट नंबर द्वारा निर्दिष्ट नहीं होती है, इसे अर्धचालक निर्माण से संबंधित एक विशिष्ट निर्वात सीमा में विश्वसनीय और सटीक दाब माप प्रदान करने के लिए डिज़ाइन किया गया है।

विशेषता:

दबाव में परिवर्तन की शीघ्रतापूर्वक और सटीक रिपोर्टिंग करने में सक्षम, गतिशील वैक्यूम नियंत्रण और तीव्र प्रक्रिया समायोजन की अनुमति देता है।

 एएमएटी-विशिष्ट भाग के रूप में, इसे एएमएटी के मौजूदा उपकरणों और नियंत्रण प्रणालियों के साथ सीधी संगतता और आसान एकीकरण के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह संगतता संबंधी समस्याओं के बिना उचित संचार, डेटा रिपोर्टिंग और समग्र सिस्टम कार्यक्षमता सुनिश्चित करता है।

उच्च गुणवत्ता वाली सामग्री और विनिर्माण प्रक्रियाओं के साथ निर्मित, यह अर्धचालक प्रक्रिया कक्षों के अंदर की कठोर परिस्थितियों का सामना कर सकता है, जिसमें आक्रामक प्रक्रिया गैसों और प्लाज्मा का जोखिम भी शामिल है।