पीडब्लूबी-820222-2 एएसएमएल पीसीबी एनालॉग I/O बोर्ड

विवरण

एएसएमएल पीडब्लूबी-820222-2 की पहचान एक के रूप में की गई हैएनालॉग इनपुट/आउटपुट (I/O) बोर्डविशेष रूप से एएसएमएल के भीतर उपयोग के लिए डिज़ाइन किया गयाएसवीजी 90एस लिथोग्राफी ट्रैक सिस्टमये प्रणालियाँ फोटोरेसिस्ट को लागू करने और प्रसंस्करण करके सिलिकॉन वेफर्स को एक्सपोजर के लिए तैयार करने के लिए अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में महत्वपूर्ण थीं।एनालॉग डेटा प्राप्त करना:हीटिंग प्लेट्स के तापमान, कोटिंग और डेवलपमेंट चैंबर में दबाव, रसायनों की प्रवाह दर और यांत्रिक घटकों की स्थिति जैसे मापदंडों की निगरानी करने वाले सेंसर से संकेत प्राप्त करना। बोर्ड फिर इन एनालॉग सिग्नल को सिस्टम की सेंट्रल प्रोसेसिंग यूनिट के लिए डिजिटल डेटा में बदल देगा ताकि वह व्याख्या कर सके और उस पर प्रतिक्रिया कर सके।

विशेषता

एकाधिक एनालॉग इनपुट चैनल:विभिन्न प्रक्रिया मापदंडों की निगरानी करने वाले कई एनालॉग सेंसरों से संकेत प्राप्त करने के लिए डिज़ाइन किया गया।

एकाधिक एनालॉग आउटपुट चैनल:सिस्टम के भीतर एक्चुएटर्स और नियंत्रण उपकरणों को चलाने के लिए एनालॉग नियंत्रण संकेत उत्पन्न करने में सक्षम।

एनालॉग-टू-डिजिटल रूपांतरण (एडीसी):सिस्टम की नियंत्रण इकाई द्वारा प्रसंस्करण के लिए आने वाले एनालॉग संकेतों को डिजिटल डेटा में परिवर्तित करने के लिए ऑनबोर्ड सर्किटरी।

डिजिटल-से-एनालॉग रूपांतरण (डीएसी):डिजिटल नियंत्रण आदेशों को बाह्य उपकरणों के आउटपुट के लिए एनालॉग सिग्नल में परिवर्तित करने की कार्यक्षमता।

आवेदन

तापमान नियंत्रण:हीटिंग प्लेटों पर तापमान सेंसरों से संकेत प्राप्त करना और फोटोरेसिस्ट को पकाने के लिए आवश्यक सटीक तापमान बनाए रखने के लिए हीटिंग तत्वों को नियंत्रण संकेत भेजना।

दबाव विनियमन:दबाव ट्रांसड्यूसर का उपयोग करके कोटिंग और विकास कक्षों के भीतर दबाव के स्तर की निगरानी करना और इन प्रक्रियाओं के लिए इष्टतम दबाव बनाए रखने के लिए वाल्व या पंप को नियंत्रित करना।

द्रव प्रवाह नियंत्रण:फोटोरेसिस्ट और डेवलपर समाधानों के वितरण की निगरानी के लिए प्रवाह सेंसरों के साथ इंटरफेसिंग और प्रवाह दरों को सटीक रूप से विनियमित करने के लिए पंपों या वाल्वों को नियंत्रित करना।